问答题
简答题
识别如图所示工艺，写出每个步骤名称并进行描述。
【参考答案】
如图所示工艺每个步骤名称为：
1 气相成底膜：清洗、脱水，脱水烘焙后立即用HMDS进行成膜处理，起到......
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对于CMOS晶体管，要得到良好受控的阈值电压，需要控制（）等工艺参数。
A.氧化层厚度；
B.沟道中掺杂浓度；
C.金属半导体功函数；
D.氧化层电荷。
