问答题
简答题
实用的等离子体刻蚀工艺必须满足哪些条件？
【参考答案】
1.反应产物是挥发性的；
2.选择比率高；
3.刻蚀速率快；
4.具有好的终点灵敏性；
5.有好的各向异性刻蚀速率。
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