问答题
简述离子注入的应用？
沟道区及阱区掺杂这部分注入工艺的能量比较宽，但剂量属中低范围，所以此部分注入工艺基本上使用中束流及高能注入机。
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 简述离子注入机的各部分工作原理？
问答题 简述离子注入掺杂工艺与扩散掺杂工艺的比较
问答题 简述离子注入原理
