多项选择题
直拉法生产硅单晶工艺中，对减压拉晶工艺描述正确的是（）
A.连续向单晶炉膛充入等量的高纯氩气，同时真空泵不断地从炉膛内向外抽气B.保持炉膛内稳定在10乇～20乇真空内C.易于成晶，炉膛干净，单晶参数易于控制，生产比较稳定D.缺点是消耗大量的高纯氩气，生产成本相对提高
多项选择题 直拉法生产硅单晶工艺尽管种类繁多，下列选项中对这些工艺的工艺特点描述正确的是（）
多项选择题 高纯水的制取中用离子交换法，存在哪些缺点？（）
多项选择题 关于高纯水的描述正确的是（）
