填空题 其他各种能源例如利用（），或热丝法都可以实现增强反应沉积的目的。不过燃烧法主要不是（）而是（）。利用外界能源输入能量有时还可以改变沉积物的品种和晶体结构。例如，甲烷或有机碳氢化合物蒸汽在高温下裂解生成炭黑，炭黑主要是由非晶碳和细小石墨颗粒组成。

填空题 等离子增强反应沉积中，由于等离子体中（）、（）和（）相互碰撞，可以大大降低沉积温度，例如硅烷和氨气的反应在通常条件下，约在850℃左右反应并沉积氮化硅，但在等离子体增强反应的条件下，只需在350℃左右就可以生成氮化硅。

填空题 在MOCVD过程中，金属有机源可以在（）或（）作用下，在较低温度沉积出相应的各种无机材料。