问答题
简述化学气相沉积法的五个基本步骤
A.反应物已扩散通过界面边界层；B.反应物吸附在基片的表面；C.化学沉积反应发生；D......
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问答题 简述CVD技术的热动力学原理——热力学
问答题 简述CVD技术的反应原理
名词解释 化学气相沉积
