填空题
西门子法中用干燥的()与工业硅粉反应,制备()。
HCl;SiHCl3
填空题 将()用焦炭在炭电极的电弧炉中还原,可制取工业硅。
多项选择题 关于硅单晶生长过程中,氧碳含量的描述正确的是()
多项选择题 从理论分析考虑,偏心法拉晶工艺的优势是()