多项选择题
关于硅单晶生长过程中,氧碳含量的描述正确的是()
A.单晶中氧含量自然减少,对单晶品质影响很大,所以硅单晶中氧含量越低越好B.氧在单晶中的径向均匀性越低越好C.硅单晶中碳含量对单晶品质有较大影响,所以碳含量越低越好D.硅单晶中碳含量碳含量的径向均匀性越低越好
多项选择题 从理论分析考虑,偏心法拉晶工艺的优势是()
多项选择题 碳元素在硅单晶中来源主要有哪些?()
多项选择题 硅单晶析出和杂质条纹描述正确的是()