多项选择题
碳元素在硅单晶中来源主要有哪些？（）
A.多晶硅含碳量一般为1×1016个/cm3至3×1016个/cm3B.石墨器件和保护气氛（氩气）中残留的氧在高温下进行化学反应生成一氧化碳C.石墨器件清理不干净导致石墨微粒飘入熔硅中，由于石墨的主要成份为碳，导致晶体中碳原子增多D.石英坩埚在高温下和石墨反应生成一氧化碳
多项选择题 硅单晶析出和杂质条纹描述正确的是（）
多项选择题 关于硅单晶生长过程中无位错单晶的生长描述正确的是（）
多项选择题 关于位错的描述正确的是（）
