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直拉单晶硅工艺学

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填空题

拉制硅单晶的电阻率范围不同,掺杂剂的形态也不一样,拉制低电阻率10-2~10-4欧姆•厘米的P型硅单晶,一般掺()。

【参考答案】

三族纯元素

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