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直拉单晶硅工艺学

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填空题

生长界面具有表面张力,一个弯曲表面一定受到一个法向力的作用,法向力主要作用是克服()。

【参考答案】

使表面保持平坦的表面张力

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填空题 正温度梯度,在溶质边界层内,产生的过冷区不是由于负温度梯度产生的,而是由于()而引起的,故称组分过冷。

填空题 正温度梯度中在溶质边界层内,熔体的实际温度比熔体应有的()高,在熔体内部的界面附近形成了过冷区,这个区域中的熔体处于()。

填空题 熔体中含有平衡分凝系数()1的溶质晶体生长时,多余的溶质在界面处汇集形成杂质,在边界层内,愈接近界面溶质浓度愈()。

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