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直拉单晶硅工艺学

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填空题

在控制单晶生长体系,界面未受任何干扰的情况下,界面()运动。

【参考答案】

恒等速

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填空题 晶体生长过程中,移动的生长界面将不可避免地出现干扰,()理论把微干扰在生长界面重迭行为考虑在内,界面出现任何周期干扰都可以用正弦函数的富氏级数表示。

填空题 用直拉法生长硅单晶,当生长界面凸向熔体时,单晶生长界面不但受到()作用还受到()的作用。

填空题 生长界面具有表面张力,一个弯曲表面一定受到一个法向力的作用,法向力主要作用是克服()。

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