问答题
GaAs相对Si的优点和缺点是什么？
优点：A.比硅更高的电子迁移率，高频微波信号响应好——无线和高速数字通信......
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问答题 简述微芯片技术发展的主要趋势
问答题 什么是关键尺寸（CD）？
填空题 干法刻蚀适用于（）（粗/细）线条。
