问答题
染料盘基有缺角是怎样产生的？
染料溶液下料不足，过滤器堵塞，机械手下料位置和转速失当。
问答题 如果旋涂室内湿度升高，温度不变，OD会如何变化？
问答题 如果旋涂室内温度升高，湿度不变，OD会如何变化？
问答题 在调整旋涂时，请简单说明如何降低尾部OD？
