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直拉单晶硅工艺学

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填空题

常见的加热器有三种形状,筒形、杯形、螺旋形,目前绝大多数加热器为()。

【参考答案】

筒形

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填空题 直拉法生长单晶硅的热场,沿[111]晶向生长的纵向温度梯度()沿[110]晶向生长的纵向温度梯度,沿[100]晶向生长的纵向温度梯度()。

填空题 硅单晶各晶面之间的()是不同的,各晶面上的原子密度也不同。

填空题 晶体生长时,()是形成新晶面需要的动力。

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