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直拉单晶硅工艺学

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填空题

直拉法生长单晶硅的热场,沿[111]晶向生长的纵向温度梯度()沿[110]晶向生长的纵向温度梯度,沿[100]晶向生长的纵向温度梯度()。

【参考答案】

大于;最小

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