问答题
简述正胶和负胶显影效果
正性光刻胶：曝光区域溶解于显影液，显影后图形与掩模版图形一样负性光刻胶：曝光区域不溶解于显影液，显影后图形与......
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问答题 简述光刻胶的概念及目的
问答题 简述离子注入设备的五个主要子系统
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