多项选择题
辉光放电系统中的I-V特性曲线可分为（）阶段。
A.电弧放电 B.异常放电 C.汤森放电 D.正常放电
多项选择题 化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜的方法有（）。
多项选择题 关于D/A界面说法正确的是（）。
单项选择题 关于光致衰减效应说法正确的是（）。
