多项选择题
合适的热场条件描述正确的是()
A.生长高质量单晶,一个很重要的条件就是有一个合适的热场B.生长系统中的温度分布(等温面的状况)对单晶的质量有决定性的影响,然而不同参数的单晶,对热场的要求也不同C.掺杂量小的单晶需要较大的温度梯度(特别是界面附近),而掺杂量较大的单晶采用比较小的温度梯度D.较好的热场,并没有严格的界限
多项选择题 单晶硅生长时,结晶界面处的径向温度梯度描述正确的是()
多项选择题 单晶硅生长时,熔体中的纵向温度梯度过小时导致的结果描述错误的是()
多项选择题 单晶硅生长时,熔体中的纵向温度梯度描述正确的是()