多项选择题
拉制单晶硅时常用的掺杂元素磷、砷、锑和硼、铝、镓,关于这些杂质的有效分凝系数描述正确的是()
A.提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好B.提高单晶生长速度时,K有效减小,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好C.当生长速度无限大时,e-fδ/D趋于零,K有效=1,整个单晶都是均匀的D.当生长速度为零时,K有效中的e-fδ/D项等于1,那么K有效=k0,整个单晶都是均匀的
多项选择题 对有效分凝系数描述正确的是()
多项选择题 影响单晶杂质浓度分布情况有以下几个方面描述正确的是()
多项选择题 用纯元素掺杂剂掺杂时,描述正确的是()