多项选择题
影响单晶杂质浓度分布情况有以下几个方面描述正确的是()
A.拉制硅单晶时熔体中杂质进行扩散和蒸发,结晶时杂质分凝,硅熔体还受到其他杂质的污染B.杂质的扩散速度很慢,一般可以忽略C.杂质分凝影响较大,拉制单晶硅杂质在硅中的平衡分凝系数均小于1时,单晶中杂质比熔体中少D.分凝出的杂质在熔体中不断积累,晶体尾部的杂质浓度也越来越高,电阻率越来越低
多项选择题 用纯元素掺杂剂掺杂时,描述正确的是()
多项选择题 半导体内含微量杂质元素,半导体的电阻率将发生很大变化,这种变化从两个方面考虑正确的是()
多项选择题 直拉单晶过程中的环境污染描述正确的是()