问答题
激光化学气相沉积的反应系统和传统化学气相沉积系统相似,但薄膜的生长特点在许多方面是不同的,这其中的主要原因是什么?
(1)由于激光化学气相沉积中的加热非常局域化,因此其反应温度可以达到很高。(2)在激光化学气相沉积中可以对反......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 激光化学气相沉积过程中显示出的那些独特优越性?
问答题 何为激光化学气相沉积,它的主要机制和作用是什么?
问答题 化学气相沉积反应器的设计类型可分成几种,各自特点有哪些?