问答题
化学气相沉积反应器的设计类型可分成几种，各自特点有哪些？
（1）常压和（2）低压式（3）热壁式（4）冷壁式特点：（1）常压式反应......
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问答题 在化学气相薄膜沉积过程中可控制的变里有那些？涉及那几个基本过程？
问答题 化学气相沉积的主要缺点有哪些？
问答题 简述捕获泵再生时必须遵循的要求。
