单项选择题
通常被用于深紫外光刻胶的准分子激光器的光源材料是（）
A.KrFB.F2C.ArFD.XeF
单项选择题 脱水烘烤是在（）的氛围中进行烘烤。
单项选择题 （）不是光刻的曝光方式。
单项选择题 投影式曝光的优势是（）
