单项选择题
干-湿-干氧化过程中，第一次干氧氧化的目的是（）
A.形成所需的二氧化硅膜厚B.获得致密的二氧化硅表面C.提高二氧化硅和光刻胶的黏附性D.改善二氧化硅和硅交界面的性能
单项选择题 薄膜对应的英文是（）
单项选择题 Ti、Ta、Al、Cu、Pt对应的物质分别是（）
单项选择题 物理汽相淀积的英文缩写是（）
