问答题
简述化学气相沉积生产装置
（1）气相反应室； （2）加热系统； （3）气体控制系统； （4）排气系统
问答题 简述动量的传递方式
问答题 简述热能传递的方式
问答题 简述化学气相沉积法的五个基本步骤
