多项选择题
晶体中点缺陷浓度是（）效应共同作用的结果。
A.点缺陷的产生 B.点缺陷分解 C.点缺陷的复合 D.点缺陷的扩散
多项选择题 化学法提纯高纯多晶硅的工艺包括（）
多项选择题 硅烷法的特点是（）
多项选择题 关于SiO说法正确的是（）
