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直拉单晶硅工艺学

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填空题

热场配置是将加热器、保温罩、保温盖、石墨托碗等搭配组合一些几何形式,用来改变单晶炉内的()状况。

【参考答案】

温度分布

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填空题 晶体生长过程中,单晶硅结晶界面平坦,说明界面处的()等于零。

填空题 整个单晶硅生长过程中,()的变化过程说明结晶界面的()可能会经历由大于零等于零,变到小于零的过程。

填空题 由于熔体由加热器周围供热,所以一般说来熔体的()总是正数。

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