问答题
简述点蒸发和小平面蒸发源特性,如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。
(1)点蒸发源:能够从各个方向蒸发等量材料小平面蒸发源:发射具有方向性,使在θ角方向蒸发的材料质量和cos&......
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问答题 如何解决蒸发过程中的分馏问题?
问答题 按测量原理真空计可分几种,各自的定义及特点?
问答题 简述旋片机械泵、油扩散泵、分子泵的工作原理及性能特点?