问答题
何谓Spacer? Spacer蚀刻时要注意哪些地方?
在栅极(Poly)的两旁用dielectric(介电质)形成的侧壁,主要由Ox/SiN/Ox组成。蚀刻spacer 时要......
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问答题 何谓Hot carrier effect (热载流子效应)?
问答题 LDD是什幺的缩写? 用途为何?
问答题 源/漏极(source/drain)的形成步骤可分为那些?