问答题
源/漏极(source/drain)的形成步骤可分为那些?
①LDD的离子注入(Implant);②Spacer的形成;③N+/P+IMP高浓度源/漏极(S/D......
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问答题 何谓 Gate oxide (栅极氧化层)?
问答题 Poly(多晶硅)栅极的刻蚀(etch)要注意哪些地方?
问答题 Poly(多晶硅)栅极形成的步骤大致可分为那些?