问答题
简述Spacer的主要功能？
①使高浓度的源/漏极与栅极间产生一段LDD区域； ②作为Contact Etch时栅极的保护层。
问答题 何谓Spacer? Spacer蚀刻时要注意哪些地方？
问答题 何谓Hot carrier effect (热载流子效应)?
问答题 LDD是什幺的缩写? 用途为何?
