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直拉单晶硅工艺学

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填空题

生长系统中的温度分布中,任何品种单晶生长都需要()对称。

【参考答案】

径向

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填空题 按照生长界面处的温度梯度,一般采用()的界面生长单晶时,有助于改善单晶的性能。

填空题 一般说来,掺杂量大的单晶比掺杂量较少的单晶需要的温度梯度()。

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