问答题
简述薄膜应力对X射线衍射峰的影响规律及利用X射线衍射技术测童薄膜应力的两种方法。
薄膜具有宏观应力,则x射线衍射峰位会出现位移,而如果薄膜具有微观应力,则X射线衍射峰的宽度会变宽。利用X射线行射技术测童......
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问答题 根据基片应变里求薄膜变形量的方法有哪些?
问答题 当薄膜的厚度tf相对和基片的厚度ts很小时,薄膜和基片膨胀系数的相对大小对薄膜应力的性质的影响如何?当应力过大时薄膜会产生何现象?
问答题 薄膜应力的一般形式有哪些?