问答题
溅射原子的能童分布一般呈何分布，溅射原子的能量和速度具有哪些特点？
溅射原子的能童分布一般呈麦克斯韦分布，溅射原子的能量和速度具有以下特点：（1）原子序数大的溅射原子溅射逸出时......
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问答题 简述溅射率的影响因素。
问答题 解释PECVD沉积过程的两种模型。
问答题 紫外线光致分解沉积系统的优点是什么？
