问答题
限制激光化学气相沉积沉积率的参数主要有哪些？
反应物起始浓度、 惰性气体浓度、 表面温度、 气体温度、 反应区的几何尺度等。
问答题 激光化学气相沉积的反应系统和传统化学气相沉积系统相似，但薄膜的生长特点在许多方面是不同的，这其中的主要原因是什么？
问答题 激光化学气相沉积过程中显示出的那些独特优越性？
问答题 何为激光化学气相沉积，它的主要机制和作用是什么？
