填空题 常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于（）个原子/cm3（电阻率为10-2～10-3欧姆•厘米）。

填空题 拉制电阻率较高硅单晶1～102欧姆•厘米，采用（）作掺杂剂，即就是（）与硅的合金。

填空题 拉制硅单晶的电阻率范围不同，掺杂剂的形态也不一样，拉制低电阻率10-2～10-4欧姆•厘米的P型硅单晶，一般掺（）。