问答题
低压溅射的主要优点有哪些？
（1）在低工作压强情况下，薄膜中被俘获的惰性气体的浓度会得到有效降低；（2）溅射原子具有较高的平均能量，当它......
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问答题 磁控溅射具有的两大特点和需要优化的主要实验参数有哪些？
问答题 溅射原子的能童分布一般呈何分布，溅射原子的能量和速度具有哪些特点？
问答题 简述溅射率的影响因素。
