多项选择题

A.将多晶硅棒用卡具卡住上端,下端对准籽晶
B.用卡具将多晶棒下端卡住,高频线圈在多晶硅棒上端产生熔区,由上方插入籽晶,将籽晶慢慢向上提起,生长出单晶
C.接好籽晶,自下而上使硅棒熔化和进行单晶生长
D.高频电流通过线圈与多晶硅棒耦合,产生涡流,使多晶棒部分熔化