问答题
简述物理气相沉积法的共同特点？
（1）需要使用固态的或者熔融态的物质作为沉积过程的源物质（2）源物质经过物理过程而进入气相（3）需要......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 讨论工作气体压力对溅射镀膜过程的影响？
名词解释 真空规
名词解释 磁控溅射
