填空题 对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉，石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗，然后进行清洁处理，多晶硅、母合金、籽晶一般用（）腐蚀。

填空题 采用母合金作为掺杂剂，主要是为了（），从而达到（）的目的。

填空题 常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于（）个原子/cm3（电阻率为10-2～10-3欧姆•厘米）。