问答题
Glue layer（粘合层）的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么？
因为W较难附着在Salicide上,所以必须先沉积只Glue layer再沉积W Glue layer是为了增强粘合性而......
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问答题 简单说明Contact（CT）的形成步骤有那些？
问答题 一般介电层IMD的形成由那些层次组成？
问答题 一般介电层ILD的形成由那些层次组成？
