填空题 在西门子法中需要对高纯的SiHCl3进行提纯，该提纯工艺是通过温度控制使混合在SiHCl3中的不同的（）蒸发的工艺，也称（）。

填空题 西门子法中用干燥的（）与工业硅粉反应，制备（）。

填空题 将（）用焦炭在炭电极的电弧炉中还原，可制取工业硅。