问答题
简答题
简述减薄操作中要注意哪些问题。
【参考答案】
圆片背面减薄工艺对表面的光洁度没有像正面抛光要求严格，它的难点是精确控制圆片的厚度、均匀度、平行度。想达到这一要求，除了......
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