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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

填空题

()仍是生产硅单晶的主要方法,它工艺成熟,便于控制()和(),容易拉制大直径无位错单晶,尤其能制备10-4欧姆•厘米级特殊单晶。

    【参考答案】

    直拉法;晶体的外形;电学参数

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