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直拉单晶硅工艺学
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填空题
铸锭法生长硅单晶虽然（）简单，（）快，（）低，但是生长单晶质量差。一般用于制造太阳能电池器件。
【参考答案】
工艺流程；生长速度；成本
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气相生长法（）简单，污染少，单晶纯度较高，但是（），生长条件不易控制，生长的单晶质量较差。
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