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全部科目 > 大学试题 > 理学 > 材料科学 > 直拉单晶硅工艺学

填空题

气相生长法()简单,污染少,单晶纯度较高,但是(),生长条件不易控制,生长的单晶质量较差。

    【参考答案】

    工艺流程;生长速度慢,周期长

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