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直拉单晶硅工艺学
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填空题
直拉单晶炉电气部分的（），控制整个直拉单晶炉安全正常运转，真空测量和加热功率的变化。
【参考答案】
控制柜
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填空题
直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的（），通过它把电流输送给控制柜。
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