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直拉单晶硅工艺学
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填空题
直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的（），通过它把电流输送给控制柜。
【参考答案】
总电源
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填空题
直拉单晶炉的电极一般由（）制成，两层形成环状，内部通水。
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电极装在炉膛底部，它的作用是支撑（），用于传递强大电流，使被支撑件发热，熔化多晶硅。
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