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单项选择题
下图为某减薄机的操作盘（局部）示意图，若需要暂停运行中的减薄机应按（）按键。
A.①
B.②
C.③
D.④ -
单项选择题
装片机安装完银浆后，点击（）可以确认完成，退回银浆模组。
A.Bond
B.Setup
C.Confirm
D.Autobond -
单项选择题
减薄机的砂轮轴向进给速度是指（）。
A.砂轮旋转的速度，一般以每分钟所转圈数表示
B.砂轮按旋转轴的方向，向下移动的速度
C.晶圆旋转的速度，也就是载台的转速
D.晶圆每转一圈去除的硅厚度
